Azot Trifluorid (NF3) Yüksək Təmizlik Qazı
Əsas məlumat
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Bu material nədir?
Azot triflorid (NF3) otaq temperaturunda və atmosfer təzyiqində rəngsiz və qoxusuz qazdır. Orta təzyiq altında mayeləşdirilə bilər. NF3 normal şəraitdə sabitdir və asanlıqla parçalanmır. Lakin yüksək temperaturlara məruz qaldıqda və ya müəyyən katalizatorların iştirakı ilə parçalana bilər. NF3 atmosferə buraxıldıqda yüksək qlobal istiləşmə potensialına (GWP) malikdir.
Bu materialdan harada istifadə etmək olar?
Elektron sənayesində təmizləyici vasitə: NF3 yarımkeçiricilərin, plazma ekran panellərinin (PDP) və digər elektron komponentlərin səthlərindən oksidlər kimi qalıq çirkləndiriciləri təmizləmək üçün təmizləyici vasitə kimi geniş istifadə olunur. Bu səthləri onlara zərər vermədən effektiv şəkildə təmizləyə bilər.
Yarımkeçiricilərin istehsalında aşındırıcı qaz: NF3 yarımkeçiricilərin istehsal prosesində aşındırıcı qaz kimi istifadə olunur. İnteqral sxemlərin istehsalında istifadə olunan ümumi materiallar olan silikon dioksid (SiO2) və silikon nitridin (Si3N4) aşındırılmasında xüsusilə təsirlidir.
Yüksək təmizlikli flüor birləşmələrinin istehsalı: NF3 müxtəlif flüor tərkibli birləşmələrin istehsalı üçün qiymətli flüor mənbəyidir. Flüoropolimerlərin, flüorokarbonların və xüsusi kimyəvi maddələrin istehsalında bir prekursor kimi istifadə olunur.
Düz panel ekran istehsalında plazma istehsalı: NF3 maye kristal displeylər (LCD) və PDP kimi düz panel displeylərin istehsalında plazma yaratmaq üçün digər qazlarla birlikdə istifadə olunur. Plazma panel istehsalı zamanı çökmə və aşındırma proseslərində vacibdir.
Nəzərə alın ki, bu materialın/məhsulun istifadəsi üçün xüsusi tətbiqlər və qaydalar ölkə, sənaye və məqsədə görə dəyişə bilər. Bu materialdan/məhsuldan hər hansı bir tətbiqdə istifadə etməzdən əvvəl həmişə təhlükəsizlik qaydalarına əməl edin və mütəxəssislə məsləhətləşin.
